Unfiltered aluminium vacuum arc plasma application for highfrequency short-pulse plasma immersion ion implantation

Alexander Ryabchikov, Sivin Denis, Anna Bumagina, Evgeniy Bolbasov, Natalya Daneikina

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

2 Цитирования (Scopus)

Аннотация

This paper is devoted to the studying of the dynamical changes in the density of aluminium microparticles (MPs) on the substrate surface made of stainless steel, immersed in vacuum arc plasma, at high-frequency short-pulse negative bias potential. It is shown experimentally that the density of aluminium MPs on the substrate surface is decreased dynamically by 3 orders when the treatment time is increased from 15 s to 3 min at the bias potential -2 kV. A possibility of the application of MPs unfiltered vacuum arc plasma for high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation to form the intermetallic layers is discussed.

Язык оригиналаАнглийский
Название основной публикацииAdvanced Materials Research
Страницы155-160
Число страниц6
Том880
DOI
СостояниеОпубликовано - 2014
Событие10th International Conference on Prospects of Fundamental Sciences Development, PFSD-2013 - Tomsk, Российская Федерация
Продолжительность: 23 апр 201326 апр 2013

Серия публикаций

НазваниеAdvanced Materials Research
Том880
ISSN (печатное издание)10226680

Другое

Другое10th International Conference on Prospects of Fundamental Sciences Development, PFSD-2013
СтранаРоссийская Федерация
ГородTomsk
Период23.4.1326.4.13

ASJC Scopus subject areas

  • Engineering(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Unfiltered aluminium vacuum arc plasma application for highfrequency short-pulse plasma immersion ion implantation». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать