Unconventional methods of pulsed-periodic ion-beam and ion-plasma treatment of materials

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

3 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The article reviews studies on the development of new methods of ion treatment of materials. New approaches are considered to multielement implantation on the basis of pulsed-periodic formation of composition-controlled ion fluxes. Various ways of obtaining high implant concentrations and forming thick and thin coatings by pulsed-periodic irradiation of materials with with ion beams and plasma streams alternating in time are discussed. Unconventional methods of treatment of inside surfaces of products are considered.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)558-566
Число страниц9
ЖурналRussian Physics Journal
Том37
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - июн 1994

ASJC Scopus subject areas

  • Physics and Astronomy(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Unconventional methods of pulsed-periodic ion-beam and ion-plasma treatment of materials». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать