Titanium macroparticles density decreasing on the sample, immersed in plasma, at repetitively pulsed biasing

Denis Olegovich Sivin, A. I. Ryabchikov, A. I. Bumagina, Olga Sergeevna Tupikova, N. V. Daneikina

Результат исследований: Материалы для журнала › Статья › рецензирование

7 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Titanium macroparticles density decreasing on the sample, immersed in plasma, at repetitively pulsed biasing». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy