The YASHMA-2 plasma facility for the deposition of coatings on solid surfaces

Peter Semenovich Anan'in, D. D. Bainov, L. G. Kositsyn, V. P. Krivobokov, V. N. Legostaev, S. V. Yudakov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

A laboratory facility for the deposition of coatings on solid surfaces using a magnetron-discharge plasma and ion beams is described. Its main performance characteristics and functional capabilities are presented.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)547-550
Число страниц4
ЖурналInstruments and Experimental Techniques
Том47
Номер выпуска4
DOI
СостояниеОпубликовано - июл 2004

ASJC Scopus subject areas

  • Engineering (miscellaneous)
  • Instrumentation

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «The YASHMA-2 plasma facility for the deposition of coatings on solid surfaces». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать