The role of energy in formation of sputtered nanocomposite films

J. Musil, J. Šůna

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

18 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The paper analysis the effect of energy E, delivered to the growing film by bombarding ions and fast condensing atoms, on its (i) structure, (ii) elemental and phase composition and (iii) physical properties. A special attention is devoted to the macrostress a generated in sputtered films under ion bombardment. The conditions under which thick, low-stress sputtered films can be produced are given.

Язык оригиналаАнглийский
Название основной публикацииNew Frontiers of Processing and Eng. in Advanced Materials - Proc. of the Int. Conf. on New Frontiers of Process Science and Eng. in Advanced Materials, PSEA' 04 - The 14th Iketani Conference
Страницы291-296
Число страниц6
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 дек 2005
СобытиеInternational Conference on New Frontiers of Process Science and Engineering in Advanced Materials, PSEA' 04 - Kyoto, Япония
Продолжительность: 24 ноя 200426 ноя 2004

Серия публикаций

НазваниеMaterials Science Forum
Том502
ISSN (печатное издание)0255-5476

Конференция

КонференцияInternational Conference on New Frontiers of Process Science and Engineering in Advanced Materials, PSEA' 04
СтранаЯпония
ГородKyoto
Период24.11.0426.11.04

ASJC Scopus subject areas

  • Materials Science(all)
  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «The role of energy in formation of sputtered nanocomposite films». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать