The deposition of silicon-carbon coatings in plasma based nonself-sustained arc discharge with heated cathode

A. S. Grenadyorov, K. V. Oskomov, A. A. Solovyev, S. V. Rabotkin, N. F. Kovsharov

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «The deposition of silicon-carbon coatings in plasma based nonself-sustained arc discharge with heated cathode». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science