Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers

A. I. Ryabchikov, I. V. Lopatin, P. S. Ananin, G. A. Bleicher, A. I. Ivanova, T. V. Koval, G. S. Modebadze, D. O. Sivin

Результат исследований: Материалы для журналарецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy