Studies on defect reduction in AlGaN heterostructures by integrating an in-situ SiN interlayer

Ferdinand Scholz, Kamran Forghani, Martin Klein, Oliver Klein, Ute Kaiser, Benjamin Neuschl, Ingo Tischer, Martin Feneberg, Klaus Thonke, Sergey Lazarev, Sondes Bauer, Tilo Baumbach

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

3 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Studies on defect reduction in AlGaN heterostructures by integrating an in-situ SiN interlayer». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy