Structure, mechanical and optical properties of silicon-rich Al-Si-N films prepared by high power impulse magnetron sputtering

Sergei Zenkin, Fedor Konusov, Aleksandr Lauk, Denis Zelentsov, Stanislav Demchenko

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

2 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Structure, mechanical and optical properties of silicon-rich Al-Si-N films prepared by high power impulse magnetron sputtering». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Chemical Compounds

Physics & Astronomy

Engineering & Materials Science