Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions

V. V. Uglov, V. I. Shymanski, E. L. Korenevski, G. E. Remnev, N. T. Kvasov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Structure and Phase Composition of Multilayer AlN/SiN Films Irradiated with Helium Ions». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science