Regimes of energy input in the pseudospark discharge in the sources of EUV radiation

Yu D. Korolev, O. B. Frants, V. G. Geyman, R. V. Ivashov, N. V. Landl, I. A. Shemyakin

    Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

    1 Цитирования (Scopus)

    Аннотация

    The paper describes the regimes of energy input in the pseudospark discharge in typical conditions of EUV source operation. It is shown that in a mode of superdense glow discharge the electron temperature in the discharge plasma reaches rather high values without self-magnetic compression of the plasma channel.

    Язык оригиналаАнглийский
    Название основной публикацииBEAMS 2002 - 14th International Conference on High-Power Particle Beams
    Страницы149-152
    Число страниц4
    Том2
    СостояниеОпубликовано - 2002
    Событие14th International Conference on High-Power Particle Beams, BEAMS 2002 and the 5th International Conference on Dense Z-Pinches, DZP 2002 - Albuquerque, NM, Соединенные Штаты Америки
    Продолжительность: 23 июн 200228 июн 2002

    Другое

    Другое14th International Conference on High-Power Particle Beams, BEAMS 2002 and the 5th International Conference on Dense Z-Pinches, DZP 2002
    СтранаСоединенные Штаты Америки
    ГородAlbuquerque, NM
    Период23.6.0228.6.02

    ASJC Scopus subject areas

    • Nuclear and High Energy Physics

    Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Regimes of energy input in the pseudospark discharge in the sources of EUV radiation». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Korolev, Y. D., Frants, O. B., Geyman, V. G., Ivashov, R. V., Landl, N. V., & Shemyakin, I. A. (2002). Regimes of energy input in the pseudospark discharge in the sources of EUV radiation. В BEAMS 2002 - 14th International Conference on High-Power Particle Beams (Том 2, стр. 149-152). [6219532]