Properties of magnetron sputtered Al-Si-N thin films with a low and high Si content

J. Musil, M. Šašek, P. Zeman, R. Čerstvý, D. Heřman, J. G. Han, V. Šatava

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

44 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Properties of magnetron sputtered Al-Si-N thin films with a low and high Si content». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy