Process stabilization during reactive high power impulse magnetron sputtering of Ce/Gd target

S. V. Rabotkin, V. O. Oskirko, I. V. Ionov, V. A. Semenov, A. V. Shipilova, A. A. Solovyev

    Результат исследований: Материалы для журналарецензирование

    2 Цитирования (Scopus)

    Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Process stabilization during reactive high power impulse magnetron sputtering of Ce/Gd target». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

    Physics & Astronomy