Аннотация

Investigation results of charge state of monocomponent plasma of Ti, Zr, W, and N, as well as that of multicomponent metal plasma of Ti/Zr (50/50 at.%) using plasma-immersion time-of-flight spectrometer are presented in the paper. The case of pressure impact in the working chamber on the ion charge state of combined metal (Ti) and gas-discharge (N) plasma is considered.

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи4852219
ЖурналReview of Scientific Instruments
Том85
Номер выпуска2
DOI
СостояниеОпубликовано - фев 2014

ASJC Scopus subject areas

  • Instrumentation

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Plasma immersion ion charge state and mass spectrometer». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать