Physical mechanisms of macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at negative high-frequency short-pulsed biasing

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

11 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Physical mechanisms of macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at negative high-frequency short-pulsed biasing». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy