Peculiarities of metal coatings deposition using magnetron sputtering systems with hot and evaporative targets

Результат исследований: Материалы для журналарецензирование

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Peculiarities of metal coatings deposition using magnetron sputtering systems with hot and evaporative targets». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy