Monte-Carlo method of ion implantation distribution modelling

V. G. Abdrashitov, V. V. Ryzhov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

1 Цитирования (Scopus)

Аннотация

The TRION code simulating by Monte-Carlo method of the ion and secondary cascade transfer for the catastrophic collisions scheme is described. The effect of electron and nuclear interaction cross-sections chosen on the calculation results of main ion implantation parameters is analysed.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)22-30
Число страниц9
ЖурналFizika i Khimiya Obrabotki Materialov
Номер выпуска2
СостояниеОпубликовано - мар 1993

ASJC Scopus subject areas

  • Materials Science(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Monte-Carlo method of ion implantation distribution modelling». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать