Modeling of the impurity distribution obtained by ion implantation

V. G. Abdrashitov, V. V. Ryzhov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Modeling of the impurity distribution obtained by ion implantation». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy