Model of the coating growth under the conditions of magnetron sputtering deposition

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

2 Цитирования (Scopus)

Аннотация

A mathematical model of a coating that grows during magnetron deposition is formulated and examined. The effect of the main technological and kinetic parameters on the coating growth dynamics is investigated.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)83-89
Число страниц7
ЖурналRussian Physics Journal
Том53
Номер выпуска1
DOI
СостояниеОпубликовано - 2010

ASJC Scopus subject areas

  • Physics and Astronomy(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Model of the coating growth under the conditions of magnetron sputtering deposition». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать