Metal vapor active element with inductive dispenser

Konstantin Yu Semenov, Valeriy F. Fedorov, Dmitriy V. Shiyanov, Maxim V. Trigub

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

Аннотация

The paper presents the development of metal vapor active element with two energy sources. The first source provides the required vapor pressure of the work substance; the second source is used to pump active media. The resonant inverter was used for the inductive dispenser heating. The paper considers the design of the active element and the pilot plant which operability confirmed by waveforms of generation, current and voltage of a gas discharge tube. The inductive dispenser is used as a vaporizer of the working substance - metal atoms.

Язык оригиналаАнглийский
Название основной публикации2020 21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020
ИздательIEEE Computer Society
Страницы285-288
Число страниц4
ISBN (электронное издание)9781728168463
DOI
СостояниеОпубликовано - июн 2020
Опубликовано для внешнего пользованияДа
Событие21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020 - Chemal, Российская Федерация
Продолжительность: 29 июн 20203 июл 2020

Серия публикаций

НазваниеInternational Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM
Том2020-June
ISSN (печатное издание)2325-4173
ISSN (электронное издание)2325-419X

Конференция

Конференция21st International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, EDM 2020
СтранаРоссийская Федерация
ГородChemal
Период29.6.203.7.20

ASJC Scopus subject areas

  • Electrical and Electronic Engineering
  • Atomic and Molecular Physics, and Optics

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Metal vapor active element with inductive dispenser». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать