Аннотация
Experimental data on the current quenching phenomenon in the pseudospark discharge in typical conditions of EUV source operation (extremely short pulse duration and high current) are presented. Mechanism of the phenomenon is proposed.
Язык оригинала | Английский |
---|---|
Название основной публикации | International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum, ISDEIV |
Страницы | 491-494 |
Число страниц | 4 |
Состояние | Опубликовано - 2002 |
Событие | XXth International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (ISDEIV) - Tours, Франция Продолжительность: 1 июл 2002 → 5 июл 2002 |
Другое
Другое | XXth International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum (ISDEIV) |
---|---|
Страна | Франция |
Город | Tours |
Период | 1.7.02 → 5.7.02 |
ASJC Scopus subject areas
- Engineering(all)