Investigation of the possibility of unfiltered aluminium vacuum arc plasma application for high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

4 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Investigation of the possibility of unfiltered aluminium vacuum arc plasma application for high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy