High-rate deposition of thin films by high-power ion beam

I. F. Isakov, G. E. Remnev, A. N. Zakutayev

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

3 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «High-rate deposition of thin films by high-power ion beam». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy