High-frequency short-pulsed metal plasma-immersion ion implantation or deposition using filtered DC vacuum-arc plasma

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

29 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «High-frequency short-pulsed metal plasma-immersion ion implantation or deposition using filtered DC vacuum-arc plasma». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science