Growth, structural and mechanical properties of magnetron-sputtered ZrN/SiNx nanolaminated coatings

G. Abadias, V. V. Uglov, I. A. Saladukhin, S. V. Zlotski, G. Tolmachova, S. N. Dub, A. Janse van Vuuren

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

28 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Growth, structural and mechanical properties of magnetron-sputtered ZrN/SiN<sub>x</sub> nanolaminated coatings». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy