Formation of nanosized particles of silicon carbide and diamonds in surface layer of silicon target during short-pulsed implantation of carbon ions

G. E. Remnev, Yu F. Ivanov, E. P. Naiden, M. S. Saltymakov, Andrey Vladimirovich Stepanov, V. F. Shtanko

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

1 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Formation of nanosized particles of silicon carbide and diamonds in surface layer of silicon target during short-pulsed implantation of carbon ions». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy