Formation of boron heavily-doped nanolayer in silicon by powerful ion irradiation

Andrey Kokhanenko, Alexander Korotaev, Alexander Voitsekhovskii, Ivan Grushin, Mikkail Opekunov, Gennady Remnev

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

1 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Formation of boron heavily-doped nanolayer in silicon by powerful ion irradiation». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy