Experimental setup for investigation of the pseudospark discharge as applied to generation of EUV radiation

Yu D. Korolev, I. M. Datsko, O. B. Frants, V. G. Geyman, R. V. Ivashov, N. V. Landl, I. A. Shemyakin

    Результат исследования: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

    2 Цитирования (Scopus)

    Аннотация

    The paper describes the main features of the experimental installation for investigation of a high current pulsed gas discharge, which burns in typical conditions of EUV source operation.

    Язык оригиналаАнглийский
    Заголовок главной публикацииBEAMS 2002 - 14th International Conference on High-Power Particle Beams
    Страницы157-160
    Количество страниц4
    Том2
    Статус публикацииОпубликовано - 2002
    Событие14th International Conference on High-Power Particle Beams, BEAMS 2002 and the 5th International Conference on Dense Z-Pinches, DZP 2002 - Albuquerque, NM, Соединенные Штаты Америки
    Длительность: 23 июн 200228 июн 2002

    Другое

    Другое14th International Conference on High-Power Particle Beams, BEAMS 2002 and the 5th International Conference on Dense Z-Pinches, DZP 2002
    СтранаСоединенные Штаты Америки
    ГородAlbuquerque, NM
    Период23.6.0228.6.02

      Fingerprint

    ASJC Scopus subject areas

    • Nuclear and High Energy Physics

    Цитировать

    Korolev, Y. D., Datsko, I. M., Frants, O. B., Geyman, V. G., Ivashov, R. V., Landl, N. V., & Shemyakin, I. A. (2002). Experimental setup for investigation of the pseudospark discharge as applied to generation of EUV radiation. В BEAMS 2002 - 14th International Conference on High-Power Particle Beams (Том 2, стр. 157-160). [6219534]