Erosion of quartz under the effect of powerful nanosecond ion beams

V. P. Krivobokov, O. V. Pashchenko, G. A. Sapul'skaya, Boris Pavlovich Stepanov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

Аннотация

The process of erosion of the surface of quartz under the effect of powerful pulsed ion irradiation is examined. The optimum parameters of the beams for removing defective layers from the surface and producing different relief structures on the surface are calculated. Possibilities of utilising the ion erosion of quartz in the nanosecond regime of irradiation in practice are confirmed by experimental results.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)605-610
Число страниц6
ЖурналPhysics and chemistry of materials treatment
Том25
Номер выпуска6
СостояниеОпубликовано - ноя 1991

ASJC Scopus subject areas

  • Engineering(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Erosion of quartz under the effect of powerful nanosecond ion beams». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать