Electron beam evaporation of the ceramic targets at a forevacuum pressure

A. S. Klimov, A. A. Zenin, E. M. Oks, M. V. Shandrikov, Y. G. Yushkov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатья

2 Цитирования (Scopus)

Аннотация

Using a plasma electron source, the process of beam evaporation of the aluminum oxide ceramic was achieved in the pressure range of 5-15 Pa. With the electron beam power density of 103 W/cm2, an evaporation rate for the ceramic was as high as 4 g/hr. The results open the possibility of making the effective ceramic coatings on the basis of electron-beam technologies.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)40-44
Число страниц5
ЖурналApplied Physics
Том2016-January
Номер выпуска3
СостояниеОпубликовано - 2016
Опубликовано для внешнего пользованияДа

ASJC Scopus subject areas

  • Physics and Astronomy(all)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Electron beam evaporation of the ceramic targets at a forevacuum pressure». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

  • Цитировать

    Klimov, A. S., Zenin, A. A., Oks, E. M., Shandrikov, M. V., & Yushkov, Y. G. (2016). Electron beam evaporation of the ceramic targets at a forevacuum pressure. Applied Physics, 2016-January(3), 40-44.