Deposition of dielectric films on silicon using a fore-vacuum plasma electron source

D. B. Zolotukhin, E. M. Oks, A. V. Tyunkov, Yu G. Yushkov

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

2 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Deposition of dielectric films on silicon using a fore-vacuum plasma electron source». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy