Characterization of high-power pulsed dc magnetron discharges for ionized high-rate sputtering of copper films

4 Цитирования (Scopus)
Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с... по...)465-469
Количество страниц5
ЖурналProceedings, Annual Technical Conference - Society of Vacuum Coaters
Статус публикацииОпубликовано - 1 дек 2005
СобытиеSVC, Society of Vacuum Coaters - 48th Annual Technical Conference - Denver, CO, Соединенные Штаты Америки
Длительность: 23 апр 200528 апр 2005

    Fingerprint

ASJC Scopus subject areas

  • Mechanical Engineering
  • Surfaces and Interfaces
  • Fluid Flow and Transfer Processes
  • Surfaces, Coatings and Films

Цитировать