Application of high-power ion beams to thin films deposition and stimulating mass transfer of previously implanted dopants in materials

Alexandr I. Ryabchikov, Vasily M. Matvienko, Anatoli V. Petrov, Vasily K. Struts, Yury Petrovich Usov, Anatoli S. Shlapakovski

Результат исследований: Материалы для книги/типы отчетовМатериалы для конференции

3 Цитирования (Scopus)

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Application of high-power ion beams to thin films deposition and stimulating mass transfer of previously implanted dopants in materials». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Physics & Astronomy