Analysis of concentration field formation in titanium under aluminum ion implantation via a gas-and-metal film deposited on a target surface

G. A. Vershinin, T. S. Grekova, G. I. Gering, I. A. Kurzina, Yu P. Sharkeev

Результат исследований: Материалы для журналаСтатьярецензирование

Аннотация

The concentration profiles of aluminum ions in polycrystalline titanium implanted by the polychromatic beam from a vacuum arc source via a gas-and-metal film deposited on a target surface are analyzed.

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)251-254
Число страниц4
ЖурналJournal of Surface Investigation
Том6
Номер выпуска2
DOI
СостояниеОпубликовано - апр 2012

ASJC Scopus subject areas

  • Surfaces, Coatings and Films

Fingerprint Подробные сведения о темах исследования «Analysis of concentration field formation in titanium under aluminum ion implantation via a gas-and-metal film deposited on a target surface». Вместе они формируют уникальный семантический отпечаток (fingerprint).

Цитировать